《真空科学与技术学报》（月刊）创刊于1981年，由中国真空学会主办。本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。

《真空科学与技术学报》主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。主要栏目有：学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。

期刊周期:月刊

期刊级别:CSCD核心期刊,北大核心期刊,统计源期刊,

国内统一刊号:CN：11-5177/TB

国际标准刊号:ISSN：1672-7126

期刊栏目:

学术论文、综述评论、技术交流、工业研究与应用

影响因子:0.761

CA 化学文摘(美)，CSCD 中国科学引文数据库来源期刊(含扩展版)，EI 工程索引(美)，JST 日本科学技术振兴机构数据库(日)，万方收录(中)，上海图书馆馆藏，北大核心期刊(中国人文社会科学核心期刊)，国家图书馆馆藏，文摘与引文数据库，知网收录(中)，统计源核心期刊(中国科技论文核心期刊)，维普收录(中)，